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稳健性工业设计（Robust Design）和经过实践证明的高可靠性轴承系统。
紧凑型结构以满足更小的物理空间安装需求。
高气流量和高抽速。
可任意角度安装。
防护等级IP54符合工业环境应用要求。
可应用于腐蚀性气体工况。
SEMI S2 和 UL认证。
完整的配件系统扩展了潜在客户的需求。
更长时间维护保养时间。
可现场更换轴承。
Bearing 轴承 | Ball bearing 球轴承 |
Compression ratio for Ar 氩气压缩比 | 2.5 · 107 |
Compression ratio for H2 氢气压缩比 | 3 · 102 |
Compression ratio for He 氦气压缩比 | 3 · 103 |
Compression ratio for N2 氮其压缩比 | 3 · 106 |
Cooling method， standard 冷却方式，标准 | Convection 对流 |
Electronic drive unit 控制器 | with TC 110 |
Flange (in) 法兰（进气） | DN 25 |
Flange (out) 法兰（出气） | DN 16 ISO-KF / G 1/8" |
Fore-vacuum max. for N2 氮气**前级真空 | 25 hPa | 18.75 Torr | 25 mbar |
Gas throughput at full rotational speed for Ar 氩气全转速时的气流量 | 0.37 hPa l/s | 0.28 Torr l/s | 0.37 mbar l/s |
Gas throughput at full rotational speed for H2 氢气全转速时的气流量 | 2.78 hPa l/s | 2.08 Torr l/s | 2.78 mbar l/s |
Gas throughput at full rotational speed for He 氦气全转速时的气流量 | 0.48 hPa l/s | 0.36 Torr l/s | 0.48 mbar l/s |
Gas throughput at full rotational speed for N2 氮气全转速时的气流量 | 0.37 hPa l/s | 0.28 Torr l/s | 0.37 mbar l/s |
Interfaces 接口 | RS-485， Remote |
Mounting orientation 安装方向 | in any orientation 任意方向 |
Operating voltage 运行电压 | 24 (± 5 %) V DC |
Particulate matter 颗粒物 | yes |
Permissible magnetic field max. 容许的**磁场 | 3 mT |
Protection category 防腐等级 | IP 54 |
Pumping speed for Ar 氩气抽速 | 11.5 l/s |
Pumping speed for H2 氢气抽速 | 3.7 l/s |
Pumping speed for He 氦气抽速 | 6 l/s |
Pumping speed for N2 氮气抽速 | 10 l/s |
Rotation speed ± 2 % 旋转速度 ± 2 % | 90000 min-1 |
Rotation speed variable 可变旋转速度 | 50-100 % |
Run-up time 启动时间 | 0.9 min |
Sound pressure level 声压级 | < 50 dB (A) |
Ultimate pressure according to PNEUROP 根据PNEUROP的极限压力 | < 5 · 10-5 hPa |< 3.75 · 10-5 Torr |< 5 · 10-5 mbar |
Weight 重量 | 1.8 kg | 3.97 lb |
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